技术参数:
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●采用比阻抗控制技术,节约环保设计理念,有效抑制超纯水中静电的产生。
●在半导体和FPD制造过程中,用于控制超纯水的比阻抗,防止静电破坏和微粒子附着。
●高纯水中的静电荷可以通过先进的比阻抗控制技术被消除,确保半导体和FPD工艺中水的电阻率在最佳条件下。
主要特点:
●根据不同用途选择合适的机型
●内置全机型阻抗探头,装机简便,配管容易。
●水量大,压力损失小,3000L/h时,压力损失仅为0.06MPa
●操作简单,控制精度高,只需设定所需阻抗值,即可实现±0.03MΩ/cm的精确控制
●可在高水压环境下运行,最高使用压力为0.5MPa
●快速响应水量变动,对水量变化迅速做出调整
●经济环保,无需使用高价的消耗品如Co2溶解膜,也无需排放Co2废气和废水
●杀菌效果好,可使用3%双氧水进行杀菌处理,无需担心细菌繁殖
机型:
Rack型N4R-1.0-50
N4R-2.0-120
N4R-3.0-120
Cabinet型N4C-1.0-50
N4C-2.0-120
N4C-3.0-120
处理量:
水流量100--1000L/h
200--2000L/h
300--3000L/h
控制范围:
0.15--1.7MΩ/cm
0.15--1.5MΩ/cm
0.15--1.9MΩ/cm
精度:
设定电阻率±0.03MΩ/cm
最大水压:
进水最大压力0.5MPa
CO2压力:
最大CO2压力0.7MPa
压力损失:
3000L/h时压力损失0.06MPa
接口尺寸:
3/4"女螺纹
重量外形尺寸:
Rack型28Kg,480W*430L*250H(mm)
Cabinet型67Kg,430W*430L*1350H(mm)
电源:
AC100--130V,AC220--240V,50/60Hz,单相1A
N4R-1.0-50爱安姆 N4R/N4C系列超纯水防静电装置, N4R-1.0-50
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