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CIF等离子清洗机外观美学设计,结构紧凑,漂亮大气,优化的腔体结构及合理的结构设计,使得处理样品量更大,适用范围更广,性能更稳定,操作更简便,性价比更高,使用成本更低,实用性更强,更容易维护。在材料学,光学,电子学,医药学,环境学、生物学等科研领域,主要用于材料表面进行清洗、活化、改性等目的。
产品特点:
u PLC工控机控制整个去胶过程,全自动进行。
u 7寸彩色触摸屏互动操作界面,图形化用户操作界面显示,自动监测工艺参数状态,0~99个配方程序,可存储、输出、追溯工艺数据,机器运行、停止提示。手动、自动两种工作模式。
u 采用石英真空仓,全真空管路系统采用316不锈钢材质,耐腐蚀无污染。
u 等离子清洗机自动匹配器,功率无极可调。
u 采用美国德威尔(Dwyer)气体浮子流量计,双路气体控制气体流量,可输入氧气、氩气、氮气、氢气或混合气等气体,气体分配均匀,经济实用。
u 符合人体功能学的60度倾角操作界面设计,操作方便,界面友好。
u 上控制下舱体上下结构设计,结构更合理,占用实验室空间小。
u 内凹式前面板设计,有效保护流量计和舱门运输过程中不易损坏。
u 处理高效均匀,效率高,工艺重复性好。
u 样品处理温度低,无热损伤和热氧化。
u 安全保护,仓门打开,自动关闭电源。
技术参数
型号
ICP-5
ICP-5plus
舱体尺寸
D260xΦ155mm
舱体容积
5L
射频电源
40KHz
13.56MHz
匹配器
自动匹配
激发方式
360度外置环绕电极,电感耦合
射频功率
10-300W可调
10-150W可调
最大处理尺寸
L260xW155mm
真空系统
石英真空仓、316不锈钢材质真空管路
气体控制
双浮子流量计,双路控制气体流量
工艺气体
Ar、N₂、O₂、H₂等(可选)
产品尺寸
L618xW520xH465mm
包装尺寸
L750xW640xH570mm
时间设定
1-99分59秒
真空泵
抽速约8m3/h
气体稳定时间
1分钟
真空度
100pa以内
电 源
AC220V 50-60Hz,所有配线符合《低压配电设计规范 GB50054-95》、《低压配电装置及线路设计规范》等国标标准相关规定。
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