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原子力显微镜成像样品时,可能难以确保表面准确表征。受针尖破碎或钝影响,导致测量结果有显著差异,如粗糙度或表面结构等。为确保用户使用探针时得到适当提示,需直接丢弃老旧探针或定期使用SEM电镜检测。然而,这两种方法都会耗时又浪费探针。SPM样品可在原子力显微镜的针尖条件下快速、简便地进行测定。即使在单一扫描线上,也能明显显示差异。因此,tipcheck提供了一个快速简便的方法来比较和分类原子力显微镜探针不同的针尖、形状和清晰度。您可轻松检查AFM探针是否完好,无需扫描整个样品图像或进行SEM电镜扫描检测。Tipcheck样品是一种耐磨薄膜涂层,沉积在硅芯片上,可在AFM探针针尖反向成像。该模具尺寸为5*5mm,用于不同探针测试样本之间的比较,扫描尺寸1*1um,高度100nm。校准区域位于芯片中心,使用原子力显微镜的光学系统易寻找。标定区域的台阶高度有20nm(HS-20MG)、100nm(HS-100MG)和500nm(HS-500MG),每一芯片上都有精确值标识。此外,CS-20NG是一种先进的XYZ标定校准,使校准精度达到纳米级。5*5mm硅芯片上阵列二氧化硅结构,确保结构均匀性和XYZ三方向精度。芯片集成了不同形状和间距的结构阵列,包括1*1mm大区域的10um方柱孔,XY方向间距为5um的圆柱孔,以及500nm间距的圆形孔。
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