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当使用原子力显微镜对样品进行成像时,很难确定表面是否被准确地表征。可能会受到针尖磨损或变钝的影响。磨损或变钝的探针针尖会导致测量结果出现显著差异,如表面粗糙度或结构等。为确保在使用探针时给用户适当的提示,必须及时更换旧探针或定期进行SEM电镜检测。这两种方法都会浪费时间和探针。SPM样品能够在原子力显微镜的针尖条件下快速、简单地进行测定。即使在单一扫描线上,差异也会变得明显。因此,tipcheck提供了一种快速简便的方法来比较和分类原子力显微镜探针的不同针尖、形状和清晰度。您可以轻松检查您的AFM探针是否完好,是否已磨损或损坏,以免使用该探针扫描整个样品图像或进行SEM电镜扫描检测。此外,市场上有完善的自动提示和针尖表征软件可供选择。Tipcheck样品是一种非常耐磨的薄膜涂层,沉积在硅芯片上。这种颗粒状薄膜涂层具有尖锐的纳米结构,可在AFM探针针尖反向成像。Tipcheck样品的尺寸为5*5mm。左图展示了使用不同探针测试tipcheck样本的比较,扫描尺寸为1*1um,高度为100nm。根据下面的形貌图,您可以找到代表性的断面图像。校准区域位于芯片中心,易于使用原子力显微镜的光学系统找到。校准结构的台阶高度为20nm(HS-20MG)、100nm(HS-100MG)和500nm(HS-500MG),每个芯片的精确值都标在盒子标签上。芯片集成了不同形状和间距的结构阵列。1*1mm大区域内包含间距为10um的方柱孔。CS-20NG是一种先进的XYZ标定校准,将校准精度提高到纳米级。它在5*5mm硅芯片上阵列了二氧化硅结构。这确保了整个芯片结构的均匀性,同时保证了原子力显微镜XYZ三方向校准的便捷可靠性。校准区域位于芯片中心,易于使用原子力显微镜的光学系统找到。台阶高度在20nm范围内,每个芯片的精确值都标在盒子标签上。芯片集成了不同形状和间距的结构阵列。1*1mm大区域内包含间距为10um的方柱孔。中区域包含XY方向间距为5um的圆柱孔。小区域内包含间距为500nm的圆形孔。
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