接触式测量设备校准标准片其它实验室常用设备巨纳(巨纳)

原子力显微镜在进行样品成像时，很难确定表面是否准确地被描绘。可能会受到针尖损坏或变钝的影响。这种破损或变钝的探针会导致测量结果出现明显偏差，如表面粗糙度或结构等。为了确保用户在使用探针时获得适当的提示，必须及时更换旧探针或定期使用SEM电镜进行检测，这两种方法都会浪费探针或时间。SPM样品可以在原子力显微镜的针尖条件下快速、简单地进行测量。即使在单一扫描线上，也能显现出不同之处。因此，tipcheck提供了一种快速简便的方法，用于对比和分类原子力显微镜探针的不同针尖、形状和清晰度。您可以轻松检查您的AFM探针是否完好，是否已磨损或破损，从而无需使用该探针扫描整个样品图像或进行SEM电镜扫描检测。此外，市场上还有完善的样品提示和针尖表征软件可用。Tipcheck样品是一种耐磨的薄膜涂层，沉积在硅芯片上。该薄膜涂层呈颗粒状，尖锐的纳米结构使其能够反向成像在AFM探针针尖上。Tipcheck模具尺寸为5*5mm。左侧图展示了在扫描尺寸1*1um，高度100nm条件下使用不同探针测试tipcheck样本的比较。根据下方形貌图，您可以看到具有代表性的断面图像。校准区域位于芯片中心，使用原子力显微镜的光学系统可轻松找到。校准结构的台阶高度为20nm（HS-20MG）、100nm（HS-100MG）和500nm（HS-500MG），每个芯片的准确值均标识在盒子标签上。芯片上集成了不同形状和间距的结构阵列。1*1mm大区域内包含间距为10um的方柱孔。CS-20NG是一种先进的XYZ标定校准，可将校准精度提高到纳米级。该标定在5*5mm硅芯片上布置二氧化硅结构，确保整个芯片结构均匀。同时，保证了XYZ三个方向的原子力显微镜校准精度便利可靠。校准区域位于芯片中心，使用原子力显微镜的光学系统很容易找到。台阶高度在20nm范围内，每个芯片的精确值都标识在盒子标签上。芯片上集成了不同形状和间距的结构阵列。1*1mm大区域内包含间距为10um的方柱孔。中区域内包含XY方向间距为5um的圆柱孔。小区域内500nm间距的圆形孔。

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